產(chǎn)品參數(shù)

臺(tái)體規(guī)格：

01.尺寸：6英寸/8英寸/12英寸

02.水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置

03.X-Y移動(dòng)行程：6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸

04.X-Y移動(dòng)精度：10μm/1μm

05.樣品固定：真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
06.針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，可放置6~12個(gè)探針座
07.平臺(tái)升降：可快速升降10mm/可微調(diào)升降10mm

08.背電極測試：樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

09.溫度范圍：-80℃~+400℃

10.溫度精度：0.01℃/0.1℃/1℃

11.尺寸：840mm長*600mm寬*700mm高/950mm長*700mm寬*700mm高

12.設(shè)備重量：約40/60KG

光學(xué)系統(tǒng)：

01.顯微鏡類型：單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

02.放大倍率：16X-200X/20X-4000X
03.移動(dòng)行程：水平方向繞立柱旋轉(zhuǎn)/XY軸移動(dòng)4英寸，Z軸行程50.8mm
04.光源：外置LED環(huán)形光源/同軸光源
05.CCD：200萬像素/500萬像素/1200萬像素

定位器：

01.X-Y-Z移動(dòng)行程：12mm*12mm*12mm
02.移動(dòng)精度：10μm/2μm/0.7μm/0.5μm
03.吸附方式：磁力吸附/真空吸附
04.線纜：同軸線/三軸線

05.漏電精度：10pA/100fA/10fA

06.固定探針：彈簧固定/管狀固定
07.接頭類型：BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
08.針尖直徑：0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm
09.針尖材質(zhì)：鎢鋼；鈹銅

探針可選配件：

01.加熱臺(tái)
02.顯示器
03.轉(zhuǎn)接頭
04.射頻測試配件

05.屏蔽箱

06.光學(xué)平臺(tái)
07.鍍金卡盤
08.光電測試配件

09.顯微鏡快速傾仰裝置

10.激光系統(tǒng)

11.探針卡夾具

產(chǎn)品特點(diǎn)

01.可用于12英寸以內(nèi)樣品測試

02.采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無結(jié)霜

03.優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以***減少液氮消耗量

04.可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡

05.可搭配多種類型顯微鏡

06.結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)，可無縫升級(jí)

06.探針臺(tái)可根據(jù)客戶要求定制